单晶局部彩色氧化

qzkh · 发表于 2011-3-27 13:53:02

各位大虾：请帮忙分析一下这是怎么回事。
单晶头部20cm及单晶尾部15-20cm正常用，中间一段出现很严重的氧化，全部彩色状，冷、热检都
正常，打开炉子，也没有发现过多的氧化物堆积，真空泵运行正常，氩气正常。从表面上看一点问题都没有，
而且氧化的情况是一炉氧化，第二炉正常，过几炉又氧化。

lzs3041736 · 发表于 2011-3-28 08:41:52

真空泵/氩气故障。

xiaohe2008 · 发表于 2011-3-28 09:28:41

这个问题我们以前出现过~！主要是真空泵和氩气的问题~！氩气有微漏现象~！重点检测下氩气管道及真空泵。

khcoco · 发表于 2011-3-28 15:31:35

这个肯定是炉子有漏气现象，但是有些时候检查不出来，这种情况也不是一次两次出现过，拉晶老手经常会碰到，兄弟是开化人？

qzkh · 发表于 2011-3-30 15:55:35

是的，你也是开化人？

kuerz · 发表于 2011-4-12 12:43:41

有时热场排气不好也会出现同类问题，但整根的比较多。局部的话还是检查下氩气和真空泵吧·这个问题高点

diaogao · 发表于 2011-5-20 14:25:08

真空泵过滤罐的滤网要经常更换。

hbzlk518 · 发表于 2011-6-8 14:46:59

这个问题我们以前出现过~！主要是真空泵和氩气的问题

ncy1028 · 发表于 2011-7-8 21:58:37

明显漏气现象啊

mornred · 发表于 2011-7-17 09:45:54

石英埚与石墨埚反应严重?

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[技术交流] 单晶局部彩色氧化