[文献] 单晶炉炭毡及热屏对单晶硅生长影响的优化模拟

发表于 2011-1-16 21:07:56 | 显示全部楼层 |阅读模式

单晶炉炭毡及热屏对单晶硅生长影响的优化模拟
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