huafei920 发表于 2009-12-23 09:04:25

有关平板式PECVD和管式PECVD镀膜的差异？

公司生产光伏电池，最近在用平板式PECVD和管式PECVD做对比实验时发现：
1、用相同浓度的氢氟酸腐蚀，管式镀膜的腐蚀时间是板式的一倍多；
2、板式PECVD镀的膜经过高温处理后表面会出现雾状的斑纹（在显微镜下观察表面有很多的亮点区域），而管式PECVD则无此现象


请问：1、管式镀膜和板式镀膜这两者之间的差异有哪些？
      2、这两种镀膜方式对硅片表面有无特殊要求？
      3、板式PECVD所镀膜层经过高温后为什么会出现雾状斑纹（即亮点）？


阳光大使 发表于 2010-1-22 13:38:37

管式镀膜 致密性较好在效率上会比板式的好   至于那个白斑你看看洗磷有没问题
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