wanfer 发表于 2012-10-11 09:18:36

三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响

峨眉半导体资料，论证三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响，对于从事还原的同仁还是有作用的。
   
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