请教高人
1.单晶炉内冒烟时怎么回事,还是清烟?2.漏硅的原因除了坩埚本身问题与装料问题还有其他原因吗?
3.单晶棒越拉越细在埚随跟上的情况下是什么原因? 1、在单晶生长过程中,硅熔液和石英坩埚等炉内物件会由于高温产生大量硅氧化物(主要成分是SiO,也有少量SiO 2,呈黄色烟尘状)、杂质挥发物以及挥发性气体。这些气尘粒子飘浮在单晶生长界面周围。当减小氩气流量时,能明显看到硅熔液上方有烟尘翻腾,俗称“冒烟”。氩气由上至下穿过单晶生长区域,带走气尘杂质。 漏硅除了干锅质量问题外,还有装料的摆放方法,加热时间过长变形。棒子变细的原因可能是温度高而电脑反应慢,可调整PID设置。 本帖最后由 khcoco 于 2011-3-1 09:49 编辑
1、炉子里有小的出水口,石英坩埚或者多晶料里有杂质;
2、一种是石英坩埚装料时受到损伤,第二种情况就是石英坩埚在生产时出现大的气泡,经过高温后气泡出现裂痕;
3、在埚升跟的及时的情况下,一般都是尾部温度太高引起的。 1.可能是氩气流量不足 导致拉晶过程中挥发物没有随气流带走
2.排除坩埚和装料这块的话,可能化料功率过高或者员工操作失误
3.调整PID吧~ 尾部温补不对了:D 真空有问题了
3.单晶棒越拉越细在埚随跟上的情况下是什么原因?
埚跟比太小!
1,冒青烟是由于重锤是钼材料,在热的时候放置外面冷却再迅速放入炉内就出出现这种现象,这种问题不要紧,还有种事氧化物在炉内排不出,你要考虑真空泵抽力还有炉子管道堵塞了。
2,热场设计不合理,化料位置不当扒料。化料功率太高都会导致
3,如果随动比对的话应该是温度过高,或者控制系统的问题 冒烟,B棒要拉料喽。
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