有关扩散后产生的偏磷酸?
使用的是48所得扩散炉,感觉产生的废液——偏磷酸比较多(相对于国外扩散设备);有几个问题想麻烦大家帮忙分析一下:
1、为什么扩散过程中会产生偏磷酸?能否避免生成这种废液?
2、为什么48所扩散炉产生的偏磷酸会较国外扩散设备多?
希望得到大家的指导! 48所的设备又不便宜又不好用,即然这么多问题为什么还要买呢?
其实你这个问题直接让48所给你解决就是了,他们最清楚是什么原因了,哈哈! 环境湿度太大,开管扩散是导致偏磷酸的主要原因.
48所没有发展呀...向你以前用的tempress,centrothem.都是闭管扩散.centrothem的尾气回收收集模式.和tempress的管内压力控制都能减少偏磷酸的产生. 48所的扩散炉虽说是闭管扩散,但会产生很多偏磷酸,是需要改进的地方....... 回复 huafei920 的帖子
请问你们是只有磷酸或是加了乙醇啊? 48所口碑这么差啊 偏磷酸的产生是不可避免的,除非不用三氯氧磷热扩散
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