liujuehai 发表于 2009-2-3 11:54:39

单晶炉和多晶炉压力控制

请教单晶炉和多晶炉在不同阶段的压力控制要求

qqeett321 发表于 2010-7-14 11:24:11

这个要看炉况的吧啊。。。。

barton2004 发表于 2010-12-21 11:36:08

不同的,因为晶体生长原理不一样.依具体的工艺参数设置.

sft528 发表于 2010-12-22 17:28:30

单晶炉一般设定在20Torr

diaogao 发表于 2011-5-20 14:33:36

20Torr，这么高啊。
一般太阳能硅单晶用不了那么高的。

ct00 发表于 2011-5-20 15:37:00

那大概多少啊

wangzhichaocom 发表于 2011-8-24 09:08:09

国产单晶炉正常1600帕现在，主要看工艺要求

央夜未舞 发表于 2012-1-13 22:34:04

这么高的压力吗？多晶硅貌似不需要把？
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