zyb481528 发表于 2011-6-23 08:33:40
受热不均匀,导致膨胀zyb481528 发表于 2011-6-23 08:34:51
预热腔升温快,不稳定莫思勿忘 发表于 2011-9-6 03:34:18
我公司PECVD是深圳捷佳创的,也经常出现碎片,大都是插片没有插好。加上比如升温快,气压大,气流大等等原因。可以以后交流。wokaoman 发表于 2012-11-4 14:01:13
是不是石墨框传输时有震动造成的,这种情况也很容易掉片子
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