Wesley____Wu 发表于 2011-11-3 22:13:31

导轮技术标准及切片常见问题概要



下面是关于切片方面产生的一些表现形式和改善方案
一、线痕
分类:线痕按表现形式分为杂质线痕、划伤线痕、密布线痕、错位线痕、边缘线痕等。各种线痕产生的原因如下:
1、杂质线痕:由多晶硅锭内杂质引起,在切片过程中无法完全去除,导致硅片上产生相关线痕。
  表现形式:
  (1)线痕上有可见黑点,即杂质点。
  (2)无可见杂质黑点,但相邻两硅片线痕成对,即一片中凹入,一片凸起,并处同一位置。
  (3)以上两种特征都有。
  (4)一般情况下,杂质线痕比其它线痕有较高的线弓。
  
页: [1]
查看完整版本: 导轮技术标准及切片常见问题概要