论坛首页 › 【单晶制备】 › 籽晶和肩发白

sz323122 发表于 2011-8-1 08:13:56

磁流体液         

diaogao 发表于 2011-8-1 08:29:04

如果只是籽晶上发白很严重的话，可以考虑提渣倒气环节了，副室泵就可以考虑了。

jackcy_wang 发表于 2011-8-1 09:31:51

一、检查楼梯是否漏气漏水
二、引晶或放肩时是否处于氩气充装阶段

ct00 发表于 2011-8-1 09:33:55

哦，请问一下副室操作好了以后是先关副泵再打开翻盖伐，还是先打开翻盖伐在关副室泵啊？

kuerz 发表于 2011-8-3 11:54:25

xiaohe2008 发表于 2011-7-31 18:57 static/image/common/back.gif
回复 ct00 的帖子

副室的压力表里面有油；如果副室真空泵球阀没有关，副室泵的油也回倒吸回来的。

有的炉子没有副室机械式压力表啊·   副室阀门轻微泄漏有可能。

sunlijun1010 发表于 2011-8-3 21:04:24

有轻微氧化

yzsitech 发表于 2011-8-8 10:19:47

漏气了，赶紧查查

ct00 发表于 2011-8-8 17:44:20

什么地方漏气啊？冷测真空是0.7Pa，每10分钟0.01Pa的炉子啊

long865414 发表于 2011-8-15 20:58:34

是氩气不纯引起的，建议更换更好的氩气

wangzhichaocom 发表于 2011-8-17 10:12:25

四个原因分析，一是磁流体漏油，二是漏气氧化，抽真空检漏在帕，拉晶在千帕，三是漏水，四是氩气不纯

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