关于扩散工艺
大家都知道扩散工艺主要是温度、时间、小氮和大氮四个参数影响工艺结果,但是当工艺调试到一定程度就会出现瓶颈,比如方阻均匀性无法提高以及扩散深度的控制等问题,这时候如何来以一种新的思路来调节工艺呢? 比如有人做的双步扩散,升温扩散 表面浓度、扩散深度这些都是扩散可调的地方。 回复 chengxinshijin 的帖子扩散深度和扩散温度以及扩散时间、扩散后温度跟时间有关系,那表面浓度怎么调呢?
表面浓度最直接简单的方法是通过测试。
WT-2000设备有ECV可选功能,能测表面浓度。 回复 zhaoff2005 的帖子
那表面浓度的影响因素有那些呢?什么原理
对扩散小氮、扩散时间进行调整,就会得到不同的的表面浓度,关键点是要有测量手段。 可以从设备机台运行状况与外围动力来辅助工艺,例如显示温度为35°,但是恒温区的实际温度肯定会有波动,毕竟工业不等同于理想计算,或者说某些数值你看到的与实际的并非相同,外围动力的排风甚至都会影响工艺效果;制造行业大的生产模式繁杂,工艺本身牵扯的内容就很深,如果可以结合硬件(动力、设备)应该会有一定的效果 关键是要有好的机台CT,TEMPRESS控温比较准确SEVENSTAR控温不太好
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