请教单晶氧化问题
各位大虾: 本人遇到一个十分头疼的老问题,单晶氧化,想了很多办法都不能有效的解决,希望各位帮助解决。
真空抽速正常,漏率0.15/min,极限真空3.5pa,氩气正常。
请大家帮我分析分析,可能导致这种结果的原因。谢谢!
请教单晶氧化问题
轻微漏水或漏气引起的请教单晶氧化问题
回复 qzkh 的帖子是每炉都是这样还是就一炉是这样的啊?
请教单晶氧化问题
关注氩气纯度。请教单晶氧化问题
已经出现了五炉,现在更换了氩气,具体情况待结果出来后才知道。请教单晶氧化问题
回复 qzkh 的帖子情况说清楚
是一台炉子这样还是所有的炉子都是这样的啊~!
如果说所有炉子都有氧化现象而且真空都能保证漏率3分钟1pa,
那请你检查下氩气管道有没有漏气的地方和氩气纯度, 纯度是5个9。
或者找个单晶设备的给你们弄下就好了啊~!问题很好解决。
请教单晶氧化问题
想这种严重程度,氩气的可能性很小,应该是漏气请教单晶氧化问题
如果只是单台炉子这样的话,建议你检查这台炉子的氩气进气是否泄漏了!也就是氩气流量计前边一段.另外你的电磁阀是否泄漏呵呵 这个只检炉体检查不出来的请教单晶氧化问题
氩气更换过以后,问题基本解决,看来是纯度不够引起的,感谢各位大虾的指教!另外单晶氧化一定是设备的问题吗?与原料、热场、及温度是否有关系呢?请各位指教!
请教单晶氧化问题
qzkh 发表于 2011-5-20 08:59 static/image/common/back.gif氩气更换过以后,问题基本解决,看来是纯度不够引起的,感谢各位大虾的指教!
另外单晶氧化一定是设备的问 ...
那应该是大批量炉台出问题了·~ 原料造成氧化没有碰到过·不过排气堵塞会造成晶棒边彩