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【硅片制备】
› 关于色差的产生原因及改善方法讨论,有兴趣和经历过的朋友来坐坐
xinyufanlifeng
发表于 2011-8-16 17:14:41
业内单晶和类单晶片都存在这个问题,但单晶片更严重,多晶片不存在这个问题。台速的改进可以起到一定的作用,圆弧角处的色差也会变淡,但目前还无法完全消除。不知道楼主现在研究的怎么样了?好的想法多多交流!
孤漂落叶
发表于 2011-11-23 15:36:04
切割工艺的问题...
lyw0916
发表于 2012-5-7 15:00:53
色差主要是切割过种中温度引起砂浆问题产生的
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