石英坩埚变形(很奇怪的)
不明白到底是料的问题还是石英坩埚质量的问题?希望高手帮忙分析下~!~ 回复 xiaohe2008 的帖子还有一种可能为石英坩埚与石墨件[三瓣埚]之间间隙过小导致气体不流畅导致... 回复 jackcy_wang 的帖子
这位兄弟你好~!我不明白的是为什么间隙过小会导致他向内部凸起?
石英坩埚的外层不都是已经有突出的地方给你足够的间隙了吗? 坩埚质量的问题…… 一般都是石英坩埚质量不好造成的 1.坩埚问题 2.拉制时间过长也会部分出现 石英干锅,图层有问题 或者是出现 类似于渗硅 回复 ct00 的帖子
热涂是SiNx,冷涂是BaOH 具体有什么区别?
我估计是坩埚质量问题。还有个可能就是炉内温度场的均匀性不好,某些温度高的地方会导致坩埚变形。
页:
[1]
2