产生TTV原因?
各位同仁,小弟不才,请各位帮我解答一问题:在用线切割切硅锭时,切出来的硅片自上而下呈梯形,厚度变厚,产生硅片厚度差异原因是什么? 技术有待于提高。你那TTV做到多少啊? 砂浆和工艺的问题 硅棒下降的速度?或升降机构是否稳定?
以上内容请确认。 主要应该是一个切割能力的问题,你到时候看看你的台面速度跟你的砂浆能力是否匹配? 切割的过程是碳化硅砂研磨硅锭的过程,砂子越磨越细,刀缝越来越小,硅片好就起来越厚了 砂浆、操作的技能有待提高,看一下你热机的时候是否有很多跳线。 增加导向条。 技术有待提高。 信息不够。无法判断。具体信息发出来。比如砂浆交换量,导向条情况?进刀速度?。。。。。。
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