硼磷共扩散法制备硅背电场太阳电池
硼磷共扩散法制备硅背电场太阳电池魏光普 余万涛 唐则祈* 哀晓* 刘宝元，*
( 上海大学材料科学与工程学院无机材料系)
( * 上海航天局空间电源研究所 )
( ** 上海硅材料厂)
( 上海市嘉定区 2 0 1 8 0 0 )
摘要 : 硼 、 磷 共 扩 散 方 法 是 制 作 硅 背 电 场( B S P ) 太 p 1 电 池 的 有 希 望 的 降 低 成 本 方 法 。 共 扩 散 方 法 本 身 也 有 很 多 值 得 研 究 的 地 方 · 本 文 叙 述了 我 们 用 硼、 磷 共 扩 散 法 制 各 硅 背电 场 太 阳 电 池 的 研 究 结 果 。 薄层电阻的测试结果表明， 共扩散法可以在硅片的上表而和卜 表面同时形成均匀、 稳定的扩散层( 发
散极和背电场区) ， 其扩散浓度和深度可用控制扩散时间和温度的办法来控制， 利用这种共扩散技术
我们制得光电转换效率为1 2 . 2 %( A M I )的电池。对扩散后的硅片进行少子寿命测量的结果.表明硅
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