磷铝吸杂在多晶硅太阳电池中的应用
磷铝吸杂在多晶硅太阳电池中的应用赵慧 徐征 励旭东 李海玲 许颖 赵玉文。王文静
( 1北京交通大学光电子技术研究所 ，北京 1 0 0 0 4 4 )
( 2北京市太阳能研究所 ，北京1 0 0 0 8 3 )
摘要：研究了多晶硅的浓磷扩散吸杂、 铝吸杂、 磷一 铝联合吸杂( 双面蒸铝) ． 采用准稳态光电导衰减法测试了吸杂前
后多晶硅片的有效少数载流子寿命 ， 发现磷一 铝联合吸杂于硅片少子寿命 的提高最大达 3 0 t ~ s以上， 其次是磷吸杂 ，
铝吸杂再次之． 采用吸杂后 的多晶硅片制备了 1 c m×l c m的太 阳电池 ， 与相同条件下未经吸杂制备 的电池相 比， 发
现三种吸杂方式都能提高电池的各项电学特性， 其中磷一 铝联合吸杂提高电池效率最大， 达 4 O 以上， 最差为铝吸
杂 ， 只有 1 5 左右的提高 ， 这与吸杂后所测得的少子寿命 的变化趋势一致． 实验说明三种吸杂方式在不同程度上促
成了硅片界面晶格应力对重金属杂质的吸附作用， 减少了载流子的复合中心 ， 从 而提高 了有效少数载流子 的寿命 ；
而有效少数载流子 的寿命直接影响到电池的效率．
关键词 ：磷／ 铝吸杂 ；
PACC： ； ／ 22 0； 72 80；
少子寿命 ；多晶硅太阳电池
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