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zhangcunbiao
发表于 2010-12-11 17:08:40
两步扩散法提高S i 太阳电池效率的研究
两步扩散法提高S i 太阳电池效率的研究
( 华中理工大学电子科学与技 术系)
摘 要 提出先高温恒定源扩散后再低温恒量扩 散的两步扩散法制作 s l 背面场太阳电池的新工艺. 与常规
的一步恒定源扩散工艺比较 , 所 制作 的太阳电池短路 电流提 高了约 2 0 , 开路 电压 y也有明显的改善,
光电转换效率提高 了近 4 .
关键词太阳电池 ; 扩散 ; 效 率; 缺 陷复台
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